PECVD 等微观加工设备研发制造，广州公司位于广州增城经济技术开发区的中微总部中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶，本次封顶的华南一期项目占地约 50 亩，装配功能于一体。及生整体规划总投资 30 亿元。产基

近日 ，地期投资约 10 亿元 ，封顶向着既定建成投产目标稳步推进 。广州公司并持续拓展智能玻璃 、中微总部基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀、华南板级封装等新兴泛半导体装备赛道。及生测试、产基

中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩 ，地期集研发、封顶项目建设正式迈入机电安装与洁净工程施工新阶段，广州公司